富氧后增压返流膨胀制氮机的制作方法

      包含预处理系统、纯化系统和分馏塔，所述分馏塔包括透平膨胀机，用于热交换的主换热器和过冷器，以及精馏塔和冷凝蒸发器，所述精馏塔包括上塔和下塔，所述纯化系统的出口经管路连接到下塔的空气入口，该管路经过主换热器。

      所述下塔还设有用于供精馏产生的富氧液空流出的富氧液空出口，所述富氧液空出口经管路连接到所述纯化系统，该管路经过主换热器；所述上塔设有氮气出口，该出口连接的管路经过主换热器。